• 设备集成高速高精密机械设计、软件系统、机械视觉、活动节造及算法等先进技术

• 固晶国头选取自主研发的伺服电机直驱旋转及相互独立音圈电机驱动摆臂高低设计

• 左、右国头可移动
  ，满足分歧宽度基板的优良兼容性及产能最大化的要求

• 取晶平台及固晶平台选取直线电机驱动
  ，实现高速、高精度定位

• 固晶平台
  ，兼容领域大
  ，并具备高精度激光测高职能
  ，提高固晶精度

• 设备具备底部飞拍职能
  ，结合摆臂吸嘴可360°旋转
  ，实现对取晶后芯片的角度二次精准建改
  ， 并可自动鉴别芯片的极性

• 软件系统操作单一
  ，不变靠得住
  ，支持MES系统对接

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产品征询邮箱：jian.mao@incubecn.com

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