Wafer侧兼容8寸以下子母环、6寸以下Disco环,Bin侧支持205 mm 和 195mm 铁环
挑拣晶粒尺寸短边2 mil~45mil
04*06mil尺寸芯片正常分选产能:6.6KK/天(有F标兵,97%稼动率)
固晶精度X、Y≦±15um & 角度≦±3°,STD可达3.5以内
提供多种尺度混分方式,可凭据客户工艺要求提供定造混分方式
软件支持正挑,反挑,反吹,反吸、沉排、混分等多种模式
对特定报警执行自动处置异常和维建流程
提供中控系统服务,可远程操作机台,并实时显示设备状态
产品征询电话:13811928592(毛总)产品征询邮箱:jian.mao@incubecn.com
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